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光學(xué)微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室，目前已是半導(dǎo)體、*密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來，由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展，對于產(chǎn)品的高*密度化、細小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為**各國在科技發(fā)展上極為重視的項目，設(shè)計理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于**地位。

光學(xué)微電子凈化工程結(jié)構(gòu)材料

1.凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。

2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或***磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。

3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型pF發(fā)泡塑膠板。

4.高效送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。

光學(xué)微電子凈化工程解決方案:

凈化工程的設(shè)計過程中，應(yīng)加強對光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析了解,根據(jù)該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程，并結(jié)合其具體的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據(jù)該工程的具體情況，同時還要考慮到生產(chǎn)廠家的經(jīng)濟承受能力，綜合各種因素來確定采用何種凈化方案，這樣才可設(shè)計出一個能滿足甲方生產(chǎn)使用要求、工程造價合理、經(jīng)濟節(jié)能實用的方案。

1、組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風(fēng)口

這是一個**傳統(tǒng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計方案。組合式空氣處理機組里含有各種功能段，如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風(fēng)段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過濾段、風(fēng)機段等。其冷源由冷水機組提供。

2、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析之水冷柜機+增壓風(fēng)柜+高效送風(fēng)口

與前種方案比較，這是相對比較簡單的空調(diào)方案。它可以大大地縮小機房的面積，水冷柜機可以根據(jù)具體的情況布置于較小機房內(nèi)或凈化車間內(nèi)，增壓風(fēng)柜也可以布置于機房內(nèi)或吊在機房內(nèi)或在夾層內(nèi)。

3、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析之分體空調(diào)柜機++FFU送風(fēng)口

這是**簡易的一個空調(diào)方案。是直接將分體空調(diào)柜機布置于車間內(nèi)，并用彩鋼圍護起來，在柜機回風(fēng)口處再在彩鋼板上開回風(fēng)口(帶初效過濾網(wǎng));KLC風(fēng)機過濾單元FFU均勻布置于吊頂口。這個方案適用于對室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無塵車間。