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近日,在朋友的帶領(lǐng)下,小編來參觀某MEMS中試平臺,聽負(fù)責(zé)人介紹道:近千平米的潔凈室便是微機(jī)電制造的“主戰(zhàn)場”，按照工藝流程分為“光刻區(qū)”、“蝕刻區(qū)”、“薄膜區(qū)”、“擴(kuò)散區(qū)”、“注入?yún)^(qū)”和“封裝測試區(qū)”。穿梭在160多套**的制造機(jī)臺間，“高大上”的氣息撲面而來。而且在進(jìn)入這種車間的前面都要經(jīng)過一道風(fēng)淋室進(jìn)行風(fēng)淋除塵后才能進(jìn)入到里面。

整個MEMS中試平臺的潔凈度等級分為四種，分別是class10、100、1000、10000，潔凈程度**嚴(yán)苛的是光刻區(qū)，按照標(biāo)準(zhǔn)，即使是肉眼看不見的灰塵，一立方米的空氣中**多只能存在幾粒。

MEMS中試平臺的**還體現(xiàn)在對環(huán)境的苛刻要求，溫度要時刻保持23度，上下幅度不能超過1度，濕度要在45%，上下幅度不能超過5%。進(jìn)入該平臺的“心臟”--潔凈室之前，所有人員應(yīng)該換上全套的防塵服，手套、口罩自然也是必要裝備?？蓜e以為這樣就能輕松進(jìn)入了，身份登記和隨身物品清洗后，你還要面臨風(fēng)淋室里面的8個風(fēng)淋噴嘴進(jìn)行10秒鐘的吹風(fēng)清潔，以確保拂去塵土。

要保持清潔，除實(shí)時監(jiān)測和定期打掃外，還有一個隱藏在地板地下的奧秘?！捌鋵?shí)我們現(xiàn)在看到的機(jī)臺都只是‘冰山一角’，它們的一些附屬設(shè)備都‘埋’在地板下，比如冷卻機(jī)、氣柜、泡沫管等等?！惫ぷ魅藛T說:“將機(jī)臺的部分‘身體’埋起來可以有效減少灰塵的堆積?！弊屑?xì)觀察，你還會發(fā)現(xiàn)地板上分布著許多小洞，這些小洞是為了讓灰塵隨著空氣層流從上至下流到“地下”并排出的**設(shè)計。這個也是潔凈室里面**常見的一種送風(fēng)方式,隨時著和各種潔凈度要求的提高,MEMS中試平臺的潔凈要求也是相對比較高的,這就要求所配套使用的風(fēng)淋室一定要達(dá)到要求.