轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明來(lái)源： 凈化車(chē)間溫濕度等級(jí)要求http://m.szeqcyb.cn/industry/3616.html

凈化車(chē)間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來(lái)確定，在滿足加工工藝的條件下，**應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越高，凈化車(chē)間應(yīng)該達(dá)到一定的溫濕度等級(jí)。

例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。凈化車(chē)間凈化車(chē)間材料是凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)、保溫性能好、易施工。圓弧墻角、門(mén)、窗框等一般采用專(zhuān)用氧化鋁型材制造地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或***磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以應(yīng)該有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間，這種凈化車(chē)間不宜超過(guò)25度。濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻(cooling)水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在*密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故，相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。

對(duì)于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)，凈化車(chē)間壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則：

1.潔凈度**高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度**低的空間的壓力。潔凈室車(chē)間凈化工作原理為當(dāng)控制器接通電源時(shí)，油霧分離器口產(chǎn)生強(qiáng)大的靜壓迫使油霧被定向吸入油霧分離器內(nèi)。在油霧分離器內(nèi)風(fēng)輪的作用下發(fā)生碰撞，使微小的顆粒集合成能被控制的小顆粒，在吸霧材料的阻擋下實(shí)現(xiàn)空氣與水的分離。

2.相通凈化車(chē)間之間的門(mén)要開(kāi)向潔凈度**高的房間。

3.車(chē)間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。凈化車(chē)間材料是凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)、保溫性能好、易施工。圓弧墻角、門(mén)、窗框等一般采用專(zhuān)用氧化鋁型材制造地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或***磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。

壓力差的維持依靠新風(fēng)量(定義:單位時(shí)間內(nèi)空氣的流通量)，這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。