轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明來(lái)源： 無(wú)塵車(chē)間濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題http://m.szeqcyb.cn/industry/4010.html

無(wú)塵車(chē)間的溫濕度隨著空氣潔凈度要求的提高，也考慮到人的舒適度，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。

具體對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以應(yīng)該有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間，這種無(wú)塵車(chē)間工程不宜超過(guò)25度。

濕度過(guò)高會(huì)產(chǎn)生大量的問(wèn)題，如果相對(duì)濕度超過(guò)百分之五十時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在*密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，無(wú)塵車(chē)間工程濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清除。相對(duì)濕度越高，粘附的難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。

便攜式溫濕度儀

HD110

產(chǎn)品特色

-操作簡(jiǎn)易且攜帶方便

-顯示屏背光功能

-定格值/**小值/**大值功能

-選擇測(cè)量單位

產(chǎn)品功能

-測(cè)量相對(duì)濕度,露點(diǎn)和溫度

-選擇測(cè)量單位(溫度和露點(diǎn))

-測(cè)量值定格

-顯示**小值和**大值

-設(shè)置自動(dòng)關(guān)機(jī)

-顯示屏背光

技術(shù)規(guī)格

測(cè)量參數(shù)

測(cè)量單位

量程

**度

分辨率

相對(duì)濕度

%RH

5~95%RH

**度(包含重復(fù)性,線性,遲滯):±1.8%RH(+15~+25°C)

工廠校準(zhǔn)不確定度:±0.88%RH

溫度依賴性:±0.04x(T-20)%RH(T<15°C或T>25°C)

1ppm

露點(diǎn)

°Ctd,°Ftd

-40~+70°Ctd

±0.6°Ctd

0.1°Ctd

溫度

°C,°F

-20~+70°C

±0.3°C

0.1°C

技術(shù)功能

顯示屏

4行,液晶顯示屏,尺寸50x36mm

2行5位(數(shù)值)

2行5位(單位)

電纜

卷式,長(zhǎng)度0.45m,展開(kāi)后2.4m

外殼材質(zhì)

ABS,防護(hù)等級(jí)IP54

按鍵

5個(gè)按鍵

電磁兼容

CEM2004/108/CE和NFEN61010-1

電源供應(yīng)

4節(jié)1.5VDC七號(hào)電池

電池壽命

150小時(shí)

測(cè)量環(huán)境

中性氣體

操作溫度(主機(jī))

0~+50°C

操作溫度(探頭)

-20~+70°C

儲(chǔ)存溫度

-20~+80°C

自動(dòng)關(guān)機(jī)

可設(shè)置0~120分鐘

重量

340g